- .板材外觀
a.機台尺寸: 2300*1000*2405（mm）
b.機台外殼: 採德國瓷白PP材質 1200*2400*10T
c.機台門片: 採透明PVDF板材1000*2000*10T
e.結構骨架: SUS304不銹鋼外披覆 PP
槽體(Tank)
※BOE tank:(200*200*220)mm
a.機体材質: ROCHLING PP 10t磁白色板.
b.排水系統:1.1/2" 膜片式電磁閥排水.
2.1/2" PFA排放軟管+PFA緊迫.
3. 自動供藥，廢液回收管路
c.BOE 液位偵測器
※SPM tank:(200*200*220)mm
a.槽体材質: 美國GE石英4t.
b.加熱系統: 5片式網型加熱
c.加熱功率: 2KW.(溫度可調，max=125℃ +-1℃)
d.加熱控制: SSR定溫微加熱點放裝置.
e.排水系統: 1. 1/2" PTFE膜片式電磁閥排水.
2. 1/2"PFA排放軟管+PFA緊迫.
3. 自動供藥，廢液回收管路
f.SPM 液位偵測器
※IPA tank:(200*200*220)mm
a.機体材質: ROCHLING PP 10t磁白色板.
b.排水系統:1.1/2" 膜片式電磁閥排水.
2.1/2" PFA排放軟管+PFA緊迫.
3. 自動供藥，廢液回收管路
4.IPA自動濃度偵測
c.防火偵測警報，CO2滅火系統
d.自動上蓋 : 氣缸自動上蓋裝置
e.IPA 液位偵測器
※QDR tank:(200*200*220)mm
a.槽体材質: ROCHLING PP10t磁白色板.
(含透明上蓋)
b.給水系統: 1. 1/2" PVC膜片式電磁閥給水.
2. 進水,噴水獨立電閥控制.
3. 1/2"超純水級PP進水軟管
加超純水PP緊迫.
4.四面溢流，上下給水、氣泡(可調節流量/壓力)
5.附數位式水阻值表 (可與程序連動式)
※SC2 tank:(200*200*220)mm
a.槽体材質: 美國GE石英4t.
b.加熱系統: 5片式網型加熱
c.加熱功率: 2KW.(溫度可調，max=125℃ +-1℃)
d.加熱控制: SSR定溫微加熱點放裝置.
e.排水系統: 1. 1/2" PTFE膜片式電磁閥排水.
2. 1/2"PFA排放軟管+PFA緊迫.
3. 自動供藥，廢液回收管路
f.SC2 液位偵測器
※si/metal etching tank:(200*200*220)mm
a.機体材質: ROCHLING PP 10t磁白色板.
b.排水系統:1.1/2" 膜片式電磁閥排水.
2.1/2" PFA排放軟管+PFA緊迫.
3. 自動供藥，廢液回收管路
c.si/metal etchin 液位偵測器
※Hot N2 Tank:(200*200*220)mm
a. 材質:SUS316
b.加熱:五面加熱
c.控制:數位式，溫度可達120℃(+-1℃)
d.可控制進氣，壓力表
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